Studie zu thermischen Eigenschaften von 266 nm tiefem Ultraviolett -Laser, der durch BBO -Kristall - 04 erzeugt wird

03Experimentelle Ergebnisse und Analyse

Wenn die Eingangsleistung von grünem Licht niedriger als 4 W beträgt, hat die Matching -Temperatur des BBO -Kristalls nur geringe Auswirkungen auf die Ausgangsleistung des vierköpfigen 266 nm -Lasers, und wenn die optimale Leistung des ultravioletten Lichtausgangs erreicht ist, ist der Temperaturaussatz δTder Heizvorrichtung ist auch in der Regel konsistent; Wenn die Eingangsleistung von grünem Licht größer als 8 W ist, desto höher ist die Matching -Temperatur des BBO -Kristalls(www.wisoptic.com), je kleiner der Temperaturversatz ΔTder Heizvorrichtung und je höher die Ausgangsleistung des 266 -nm -Lasers. Daher ist es notwendig, ein geeignetes theoretisches Modell festzulegen, um die Grundursache für die Wärmeerzeugung des BBO -Kristalls während des vervierfachigen Prozesses zu untersuchen und theoretische Forschungen zu den thermischen Eigenschaften von Kristallen mit unterschiedlichen Anpassungstemperaturen durchzuführen.

Um die Ausgangseigenschaften des tiefen Ultravioletten -266 -nm -Lasers bei verschiedenen Anpassungstemperaturen besser zu verstehen, wurde die Strahlqualität des erhaltenen 266 nm tiefen Ultraviolettenlasers unter Verwendung eines ultravioletten Strahlprofilers gemessen, wenn die Kristallanpassungstemperatur 60 ° C betrug. Es wurde festgestellt, dass die Strahlqualitätsfaktoren in der X- und Y -Richtungen 1,66 betrugen (M²_X) und 1,68 (M²_y), wie in Abbildung 3 (a) gezeigt. Zusätzlich wurde die Leistungsstabilität des zu diesem Zeitpunkt erhaltenen 266 nm tiefen Ultraviolettenlasers aufgezeichnet, wie in Abbildung 3 (b) gezeigt.TDie Leistungsstabilität des 266 -nm -Lasers innerhalb von 1 h war besser als 4,7% (RMS). Nachdem die Kristall -Matching -Temperatur auf 180 ° C erhöht wurde, können die Strahlqualitätsfaktoren in der X- und Y -Richtungen auf 1,62 bzw. 1,52 erhöht werden, und die Leistungsstabilität kann besser als 4,0% (RMS) sein. Wie aus Abbildung 3 hervorgeht, kann eine Erhöhung der Matching-Temperatur auch die Strahlqualität und die langfristige Stabilität des erzeugten tiefen Ultraviolettenlasers in gewissem Maße verbessern.

Schließlich wurde die zentrale Wellenlänge des ultravioletten Impulslasers durch ein Spektrometer auf 265,7 nm gemessen und die Linienbreite 0,354 nm betrug, wie in 4 (a) gezeigt. Die einzelne Impulsbreite des 266 nm tiefen Ultraviolettenlasers wurde durch einen Fotodetektor mit einer Wiederholungsfrequenz von 20 kHz mit 4 ns gemessen, und die Impulsequenz war gleichmäßig und stabil, wie in 4 (b) gezeigt.

Abb. 3 Experimentelle Ergebnisse. (a) Strahlqualität und (b) Leistungsstabilität des DUV 266 nm -Lasers Wenn die Phasenanpassungstemperatur des Kristalls 60 ℃ beträgt; (c) Strahlqualität und (d) Leistungsstabilität des DUV 266 nm Laser, wenn die Phasenanpassungstemperatur des Kristalls 180 ℃ beträgt

Abb. 4 Ausgangseigenschaften des DUV 266 nm Laser. (a) spektrale Breite; (b) Pulsbreite