Lithiumtantalatkristall und seine Anwendung - 09

3 Die Hauptanwendung von Lithiumtantalatkristallen

3.1 SAW-Wellenfilter

Yang Qing - rui und andere entwickelten einen Resonator-SAW-Filter unter Verwendung von LiTaO ₃/SiO ₂/Si  Substrat. Die Abbildungen 3 und 4 sind optische Fotos des Geräts bzw. teilweise rasterelektronenmikroskopische Bilder des Geräts. Die ineinandergreifenden Elektroden des Geräts im Bild sind klar und es ist keine Haftung erkennbar. Sie werden später analysiert und optimiert. 

Es ist ersichtlich, dass eine Erhöhung der Anzahl der Elektrodenpaare oder der Elektrodenöffnung des Resonators den Leistungskoeffizienten des Geräts selbst verbessern kann und die Anzahl der Elektrodenpaare einen größeren Einfluss auf die Leistung hat .  Ich bin ein Resonator mit der gleichen statischen Kapazität,  der niedrigere Wert von  Je höher das Verhältnis der Elektrodenöffnung zur Anzahl der Elektrodenpaare, desto höher ist der Leistungskoeffizient des Geräts . Der elektromechanische Kopplungskoeffizient nimmt mit zunehmender Elektrodenperiode zunächst zu und dann ab.

Kimura  T et al. untersuchten die Anwendbarkeit eines akustischen Wellengeräts unter Verwendung eines Interdigitalwandlers, der auf einer dünnen piezoelektrischen Kristallplatte bei 3 bis 5 GHz platziert war, wobei die Leistung des SAW-Geräts erheblich abnahm. Dies beweist, dass der Qualitätsfaktor Q  der Verbundstrukturschicht unter Verwendung von LiTaO ₃/SiO ₂/Si ist 3 bis 4 Mal höher als die des 42° Y - X  LiTaO ₃  (42-LT) Schüttgut. Drei Arten von Sägezahnvorrichtungen wurden unter Verwendung eines KrF-Schrittmotors/Scanners hergestellt und ihre Leistung in allen Aspekten verglichen: ein 3,5-GHz-Resonator, der über eine rotierende LiTaO3-Platine mit V-Schnitt an ein Si-Substrat angeschlossen ist; 5-GHz-Resonator mit X-cut-LiNbO3-Platine; unabhängiger 5,4 GHz A1-Lamb-Mode-Resonator auf Z-Cut-LiNbO ₃  (www.wisoptic.com) -Board. Die Ergebnisse zeigen, dass diese Geräte auch bei 3–5 GHz eine hervorragende Leistung aufweisen. Fu Chen und andere verwendeten die ANSYS-Software, um eine Finite-Elemente-Analyse von 36° YX -LiTaO ₃ durchzuführen  (www.wisoptic.com) Material und entwickelte eine allgemeine und effektive Methode zur Analyse von Leckwellenresonatoren. Kadota Michio et al. entwarf einen SAW-Resonator mit horizontalen Scherwellen (SH), die in einer dünnen Lithiumtantalatschicht eingeschlossen sind, die von einem Quarzsubstrat (Qz) getragen wird. Das gemessene Impedanzverhältnis erreichte 84 dB. Andererseits werden aufgrund der einzigartigen Beschaffenheit von Quarz andere Streuwellen als SHSAW nicht auf die LT-Schicht beschränkt, was zu störungsfreien Eigenschaften über einen weiten Frequenzbereich führt. Yan  Xiong  Shuo et al. verwendeten die Technologie des fokussierten Ionenstrahls (FIB), um einen hochqualitativen LT-Resonator auf der Basis eines LT-on-Insulator (LTOI)-Filmresonators herzustellen. Die LTOI-Mikrodisk erreichte eine Ausgangsleistung der zweiten Harmonischen von 2 μW bei einer Eingangsleistung von 500 mW. Gleichzeitig wurde in dem Gerät auch die Erzeugung kaskadierter dritter Harmonischer beobachtet.