Verfolgen und Verstehen von Laserschadensereignissen in der Optik - Teil 11

3.3 Laservorbehandlung von   dielektrischer Film mit  großem Durchmesser

Die Laservorbehandlungstechnologie ist der letzte Prozess vor der Versorgung von Bauteilen mit großem Durchmesser mit dielektrischen Folien   in NIF-Geräten in den Vereinigten Staaten. LLNL liefert das ir  Laservorbehandlungsgerät und   Spezifikationen   an jeden ihrer Lieferanten von Dünnschichtkomponenten . Für den dielektrischen Film besteht die Rolle der Laservorbehandlung darin, die verbleibenden Knötchen und Defekte nach der Optimierung des Beschichtungsprozesses zu entfernen, was ein sehr wichtiger Garant für die großtechnische Versorgung mit dielektrischen Beschichtungs-  Komponenten ||| ist | mit großem   Durchmesser. Ein Zweck  ist es, Defekte zu beseitigen und die Fähigkeit zu verbessern, Schaden zu widerstehen . Der andere Zweck besteht darin,  vollständig zu beurteilen, ob das Dünnschichtelement die Anforderungen des endgültigen Betriebsflusses im Lasersystem erfüllt.

Derzeit wird die Laservorbehandlungstechnologie auf die Produktion   angewendet von Transmissionsspiegel (TM), Ellbogenspiegel (ZJ) und Polarisator (PL) in China und ist der letzte Prozess in der Herstellung  von dielektrischen Filmen mit großem Durchmesser. Die Größe von TM   beträgt 610 mm × 430 mm × 85 mm, und die Größe von Polarisator und Ellbogenspiegel beträgt 810 mm × 430 mm × 90 mm. Die Laserschadensresistenz von Bauteilen nach der Laservorbehandlung ist in Bild 15 dargestellt. Die funktionelle Schadensschwelle des Transmissionsspiegels erreicht 30 J/cm ²  (1064 nm, 5 ns) und die funktionelle Schadensschwelle des Ellbogenspiegels und Polarisator erreicht 14 J/cm ² (1064 nm, 5 ns).

Der Oberflächenzustand des dielektrischen Films nach der Laservorbehandlung ist in Fig. 16 gezeigt, wobei die Größe der Vertiefungen 15 μm nicht überschreitet, die laterale Größe der Plasmaablation 300 μm nicht überschreitet und die vertikale Tiefe ir   dies nicht tut 30 nm überschreiten. Basierend auf dem aktuellen Stand der Oberflächenplasmaablation nach der Laservorbehandlung des dielektrischen Films wurde der Einfluss des dielektrischen Films mit großer Apertur auf die Strahlqualität nach der Vorbehandlung simuliert und analysiert. Der Strahleffekt ist vernachlässigbar, wie in Fig. 17(a) und (b) gezeigt. Die Laservorbehandlungswirkung auf PSD2 wurde durch einen Profilometertest analysiert, und die Ergebnisse zeigten, dass die PSD2   stieg nach der Vorbehandlung an, lag aber immer noch innerhalb des erforderlichen Bereichs von 1,1 nm, wie in Abbildung 17(c) gezeigt.

 Es ist ersichtlich, dass der Laservorbehandlungsprozess die Strahlqualität nicht wesentlich beeinflusst, während die Zerstörungsfestigkeit des Bauteils verbessert wird. Es sei darauf hingewiesen, dass die in Abbildung 15 rot dargestellten Daten bedeuten , dass diese drei Komponenten während des Laservorbehandlungsprozesses nachgewiesen wurden ,   die Anforderungen des  designed ed  flux   nicht erfüllen im Hochleistungslasersystem, so dass sie nicht verwendet werden.